跟输入能量密度是 100%的那种工艺参数下 35°悬垂结构没办法成形不一样,要是能量密度输入的配比变成 20%+80%、25%+100%、10%+10%+85%、10%+10%+90%,35°悬垂结构的样件就能做成啦。最后找到了特别好的能量密度输入配比,也就是 10%+10%+90%的多重曝光工艺参数。用这个参数做出的 35°悬垂结构样件,里面的孔隙缺陷特别少,密实的程度是最棒的,能达到 98.85%呢。悬垂表面的粗糙程度跟用能量密度输入配比是 100%的参数做出来的样件相比,降低了 21.25%,厚度尺寸的精度也是最出色的,能有 5.899%。
用这个特别好的能量密度输入配比是 10%+10%+90%的工艺参数,做出了各种尺寸特点不一样的悬垂结构。还建立了测量和评价悬垂结构整体翘曲变形的办法,研究了不同的成形层宽度对极限成形角度的悬垂结构翘曲变形有啥影响,也研究了成形角度、成形层长度以及悬垂面长度对成形层宽度特别小的悬垂结构翘曲变形的影响。通过分析悬垂结构成形层能量输入强度的特点,搞清楚了尺寸特点对翘曲变形的影响原理。
悬垂结构的尺寸特点要是有变化,就会让成形过程里能量输入的强度和应力累积的程度改变,最后就会出现不一样形状和不一样程度的翘曲变形。成形层的宽度和成形角度越大,成形层的长度和悬垂面的长度越小,极限成形的悬垂结构抵抗翘曲变形的能力就越强,这跟之前仿真预测的结果趋势是一样的。